在每種旋片真空泵中,又有單級和雙級之分。在單級泵中,由于選用的構(gòu)造方式和參數(shù)不同,泵的極限壓力和用處也不同。它們的共同特點(diǎn)是構(gòu)造較復(fù)雜,運(yùn)用方便,能從大氣壓力下起動,可間接排入大氣,公平質(zhì)量較小,維護(hù)簡便,雙級泵的極限壓力為6*10-2~1*10-2Pa,一種單級泵可達(dá)4Pa左右,另一種單級泵為50~200Pa左右。
雙級旋片真空泵的運(yùn)用:
運(yùn)用前,首先細(xì)心閱讀產(chǎn)品說明書,開箱后應(yīng)檢查裝運(yùn)質(zhì)量,收好備品備件和技術(shù)文件,撤除排氣口防護(hù)件。按要求裝置,接線,試轉(zhuǎn)向,水冷泵接水。
為避免因返油與反轉(zhuǎn)而噴油,應(yīng)先開啟泵口,按規(guī)則轉(zhuǎn)向把泵內(nèi)存油用手盤到油箱中同時檢查油位,應(yīng)在油標(biāo)中心以上,但不要滿油標(biāo),多了要放出。判別轉(zhuǎn)向的輔佐辦法。把護(hù)套倒放在泵口上,如開泵后被吸住,是正向,被吹落,是反向。聲響正常是正向,聲響異常響是反向。
由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對泵有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。